微定位平台相关论文
随着微/纳制造、微/纳装配及微/纳机械系统等微/纳领域的不断进步和发展,相关制造装备、检测技术等对定位精度的要求也越来越高,基......
随着科学技术的高速发展,精密工程技术所涉及的领域越来越广泛,包括微电子技术,纳米技术,精密加工技术,航空航天技术等领域,因此,......
随着第三代半导体的迅速发展,以Micro LED为核心的光照半导体制造设备成为国内外的研究重点。针对Micro LED面板在制造过程中可能......
为了克服音圈电机电磁驱动柔顺微定位平台在大行程范围内存在的低阻尼谐振和动力学特性差异等问题,利用综合数据驱动频域逆迭代前......
随着科学技术的飞速发展,在航天航空、微电子技术、生物工程、纳米科学等领域中,仪器和设备对微定位系统的要求越来越高,特别是对......
目前,在国防、航天航空、生物工程、微机电系统装配及精密加工及制造等精度要求为微纳米级别的领域,微纳米超精密定位技术被广泛应......
针对传统杠杆放大机构在柔性平台构型设计中存在放大倍数低和响应速度较慢的不足,提出了一种新型二级杠杆放大机构,并在此基础上设......
微定位平台是能够实现微米级别定位或调整精度的柔性微动系统。扩大运动行程、提高固有频率是微定位平台的主要研究问题,通过三个......
通过对一种新型柔顺铰链进行分析,设计一种基于对称型柔顺铰链的三自由度微定位平台。首先,采用ANSYS有限元方法,对一种新型柔顺铰......
为使压电微定位平台具有良好的性能,采用改进PID控制器对其进行反馈控制.首先,对压电执行器机电特性及平台动力学特性进行分析,建......
微定位平台是微/纳加工与装备测试的核心功能组件。本文以设计大行程、高分辨率微定位平台为目标,以柔度矩阵法、拉格朗日方程、有......
随着近年来微芯片高度集成化、设备微型化、操作精密化等新趋势的日益明显以及微电子、生物医学等纳米技术相关学科的蓬勃发展，使微......
以无摩擦无间隙、响应快、结构紧凑、误差积累小等优点而得到重视和应用的全柔性微动并联机构因为采用了全柔性关节代替了传统的运......
精密定位技术是精密制造、精密测量、精密工程等微观科学领域中的关键技术,微定位平台是精密定位技术中的一项重要载体。本文以理......
微/纳定位技术是微/纳米制造、微观成像、纳米压印、硬盘高密度数据存储及光刻等诸多行业的核心共性技术,但随着相关精密工程及技......
微定位平台在精密制造及微操作等领域具有极其重要的理论研究价值与实际应用意义，本文依托国家自然科学基金课题，对微定位平台的机械......
精密定位技术是提升国家核心竞争力和综合国力的战略选择,而微定位平台的控制系统设计是精密定位技术的关键部分。分布柔度式平面......
介绍了一种基于压电陶瓷驱动器驱动的二维微定位平台。在结构上,定位平台采用多功能微驱动接口模块实现位移的增倍输出,采用折叠梁......
为了实现二维平面纳米级定位,研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台.该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高......
柔性机构,特别是全柔性机构以其特殊的性能在微位移、微操作、微装配等领域得到广泛应用.通过对柔性机构的特点、全柔性微动机器人......
提出了一种在AutoCAD中建立柔性机构伪刚体模型并对其进行性能分析的方法：将柔性机构分类并单元化;利用AutoCAD提供的API,借助参数......
设计了一种基于桥式放大原理的出串联式二维微定位平台，通过理论分析与实验数据相对比，对平台的刚度、输出位移、精度以及其固有频率......
研制了一台压电陶瓷驱动和弹性铰链导向的一体化微定位平台，该微定位平台具有高刚度、高响应速度和高分辨率等优点。为了克服压电陶......
微机械执行技术是实现微定位操作的关键技术之一,在实现高分辨率的同时,必须满足平台的运动范围要求。基于此,介绍一种具有位移放......
本文阐述了通过Adams和Matlab仿真实验研究三自由度精密微定位平台运动学特性的过程。首先分析建立了动平台的空间平面方程，得到了......
为了研究柔性铰链形式对微定位平台性能的影响,对正圆、椭圆、直角和三角柔性铰链的三自由度平台的静态和动态特性进行比较分析.采......
设计了一种采用压电陶瓷驱动的3自由度刚柔耦合微定位平台,利用柔性铰链机构及自锁原理在保证装置定位精度的同时提高了微定位平台......
针对柔性铰链微定位平台两个方向同时施加载荷后难以提高平台位移精确度的问题,以基于GMA二维柔性铰链微定位平台为对象,对其进行......
针对由压电陶瓷驱动的微定位平台工作行程不足的问题,设计了一种基于二级杠杆机构的二自由度微定位平台。考虑到不同柔性铰链的物......
压电陶瓷驱动的微定位系统在扫描探针显微镜样品扫描台、纳米压印光刻、微纳操作、精密电子制造、精密加工、精密测量等许多领域应......
针对半导体及微纳制造等领域对微定位系统低成本高精度的要求,根据以宏观的输入获得微观的输出、低精度驱动器输入获得高精度输出......
随着科技水平的快速发展,精密加工领域的各项要求越来越严格,对于加工精度的要求越来越高。精密加工的精度很大程度上取决于其装备......
为了克服精密平面磨床进给系统分辨率低而难以实现纳米级磨削加工的不足，设计了一台三自由度微定位平台来实现纳米定位和振动误差动......
微定位技术是纳米工作台中的关键技术。压电陶瓷以逆压电效应来产生微位移,它具有体积小、位移分辨力高、频响高、不发热的特点,是......
针对现有微定位平台输出位移小和输出力不足的问题,设计了一种磁致伸缩微定位平台。依据磁致伸缩微定位原理设计了微定位平台的结......
设计了一种二自由度柔性微定位平台,该平台主要由音圈电机和柔性铰链机构等组成.采用直角柔性铰链组成的双平行四杆机构对称安置,......
为了描述压电式多维微定位平台的率相关迟滞非线性特性,提出了一种基于Hammerstein模型的建模方法。以一种二维微定位平台为对象,......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
针对共聚焦显微镜检测系统光学成像中物镜成像质量不稳定,要求定位精度高、安装空间小等问题,设计了一个基于倒圆角直梁型柔性铰链......
二十一世纪以来我国航天工业发展速度迅猛,因此对服务于航天工业的各种装备提出了更高要求,其中X/γ射线探测器作为航天探测的有效......
精密定位技术是国家制造水平的重要标志,是国家先进制造技术的主要支柱,同时还是精密驱动、精密测量、精密加工中的关键技术之一。......
在微电子装配、细胞操作、光学工程等领域,具有微米级行程、纳米级精度的微定位平台是重要的支撑技术。柔顺机构无间隙、免装配,可......
设计了一种以平行板铰链机构进行导向,以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台。应用弹性力学和材料力学理论建立该......
设计了一种基于压电薄膜驱动梁和柔性铰链结构的3维微定位平台,并且为了准确评估平台性能提出了一种理论建模分析方法.首先,根据力......
为了提高3自由度并联微定位平台的性能,研究了一种新型的混合柔性铰链微定位平台,它由正圆柔性铰链和直角柔性铰链组成。根据正圆......
压电叠堆与柔性机构构成了微位移的基本形式,其行程与精度、输出力的矛盾需要结合应用要求对结构进行综合设计。针对所构建的超精......
迟滞现象是一种输入-输出关系呈多重分支的非线性，且分支的切换发生在输入达到极值的时刻，广泛地存在于压电材料、机械间隙系统、光......
