微陀螺仪相关论文
加工工艺是限制微陀螺性能提高的关键因素,本文对典型解耦型微机械陀螺原理分析基础上,与加工工艺结合进行结构设计,利用溶片工艺......
MEMS微陀螺仪是采用微机电系统加工技术和测控技术研制的一类用来测量角速度和角位移的惯性器件,以体积小、功耗低、可靠稳定等优......
微机械陀螺仪由于其体积小、功耗低以及可靠性高等优点,而在惯性测量领域有着广泛的应用前景。共振隧穿器件是基于分子束外延(MBE)......
为了实现三轴检测微陀螺仪的单片集成,本文提出了一种完全对称的四方陀螺结构。文中首先介绍了该课题的研究背景及研究意义,说明了......
介绍了微机械陀螺和共振隧穿效应器件的工作原理，提出了基于共振隧穿效应的微机械陀螺仪结构．利用ANSYS软件仿真分析了输入角速度、......
为了在开环微陀螺设计中得到大的输出信号，消除阻尼对它的影响，同时使得失真尽可能小，从微分方程出发，进行了阻尼和信号失真的理论分析......
设计了一种基于半参数回归模型的微陀螺仪温度补偿方法。针对微陀螺仪启动时受温度变化影响明显、角速度输出误差较大的问题,提出......
利用热传导理论,对微陀螺仪在真空回流炉中的封装过程进行了数值模拟,得到了当焊料熔化时,加热台台面与微陀螺仪的焊料层的温度梯......
为了去除不定积分环节产生的直流偏置项,提出了一种基于“一次移动平均法”的改进积分算法。利用一个整数周期的积分信号值构成一......
应用Coventorware软件系统模型的方法对一种振动板式微陀螺仪进行了特征频率分析和结构参数优化,研究了静电压对特征频率的影响.并......
针对微陀螺仪开环检测的不足,在电容平衡梳齿微结构的基础上,提出了基于FPGA的微陀螺仪闭环检测控制方案。设计了电容电压变换及调......
本文论述了角速率微陀螺仪ADXRS401的原理与接口电路设计.ADXRS系列角速率微陀螺仪是ADI公司基于MEMS技术的微系统,它采用完全集成......
核磁共振陀螺(NMRG)是基于量子原理的陀螺仪,具有高精度、体积小、抗干扰能力强等特点,是陀螺仪发展的重点方向之一。简要回顾了核......
期刊
基于梳齿电容微结构,分析了电压驱动梳齿电容振动产生静电力的工作原理;针对微陀螺仪开环直接检测的不足,采用静电力平衡哥氏力的......
随着MEMS技术的发展,封装已成为阻碍MEMS商业化的主要技术瓶颈。从某种角度而言,封装不仅是一门制造技术(Manufacturing technolog......
核磁共振陀螺仪(NMRG)是基于量子原理的、目前世界上体积最小的导航级陀螺仪,具有加速度不敏感、抗干扰能力强且没有运动部件等优......
根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近。本研究通过CoventorWar......
介绍了一种新的MEMS器件敏感芯片的制备技术———选择性电铸技术。以金为检测电极、铜为牺牲层、正胶作为电铸胎膜,在牺牲层上经......
随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域......
提出一种由三只单轴MEMS陀螺仪和三只单芯片双轴6个加速度计构成的MEMS-IMU配置方案。针对该方案的特点,研究了基于重力参考矢量对......
针对现有方法无法快速准确对微机械陀螺仪寿命评估的问题,提出了温度应力下陀螺仪的加速寿命评估方法。该方法采用故障树分析法确......
针对传统可靠性试验和评估手段难以获取高可靠、长寿命惯性器件失效寿命的问题,提出一种基于性能退化的微陀螺仪可靠性试验和评估......
随着微陀螺仪性能的不断提升,对接口电路的要求也不断提升。与模拟接口电路相比,微陀螺仪接口电路的数字化设计可以增加电路的灵活......
分析了以微电子机械MEMS技术制成的单片偏航角速率陀螺仪ADXRS150的匹配电路原理与工作原理，阐述了角速率陀螺仪的设计要点，设计并搭......
介绍了ME MS封装技术的特点和发展现状,重点介绍了圆片级、单片全集成级、MCM级、模块级、SIP级等几种很有前景的封装技术在实际中......
