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美国芝加哥大学和康奈尔大学的研究人员合作，实现了一种能生长厚度仅几个原子的硅薄膜制造方法，并使其得以彼此上下堆叠多层，就像一叠......
采用ＣＶＤ技术实现了Ａｌ２Ｏ３薄膜的数字化生长，实验结果表明这种生长方法具有生长温度低、层厚可控等特点，生长出的薄膜每周期生长厚度约为１．１９。......
