磁流变抛光相关论文
近年来,随着现代科学技术的快速发展,越来越多的光学元件被应用到国防建设等各领域当中。但是传统用于加工超精密光学元件的方法存......
氧化铝陶瓷在各种电子陶瓷、精密仪器、光学、高温技术、航天航空和军工工业等领域应用越来越广泛。随着电子技术逐渐走向微型化、......
随着高新技术的快速发展，对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求，传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精......
目的 为了提高非球面光学模具的表面质量和加工效率。方法 分析当前非球面超精密抛光方式及其特点，针对小口径非球面光学模具，提出一......
近些年来,应用在光学技术、LED照明、半导体集成电路等高端领域的光学镜片、蓝宝石基片、硅片等超精密元件的需求量巨大,这些超精......
选区激光熔化（SLM）可制造形状复杂、传统加工难实现的零件,但其成型表面存在着“台阶效应”、“球化效应”、“粉末粘附”等现象。为......
钛合金是在20世纪发展起来的一种结构金属,它的热强度高、耐腐蚀性好、且具有良好的力学综合性能,因而作为金属结构部件材料广泛应......
磁流变抛光是一种新颖的柔性抛光技术,主要应用于光学微纳加工领域,相比于传统加工方法,它可产生纳米级表面粗糙度,且去除率高、抛......
近年来,随着高性能光学元部件在国防军工、航空航天、核能发电等重要的工业领域和医学检测、摄像投影等民用领域的广泛应用,小口径......
单晶SiC作为第三代半导体材料的代表,用于高性能电子器件的衬底基片,要求其表面原子级超光滑并且无亚表面损伤,但单晶SiC硬度高、......
在机械工程领域中,磁流变技术是结合材料属性变化控制与机械传动和机加工的新兴研究方向,利用磁流变液在外磁场下“固-液”相的迅......
半导体晶圆磁流变抛光是利用磁流变抛光液在磁场中的流变行为进行晶圆表面超光滑平坦化加工的方法。当前对集成电路所需半导体晶圆......
随着集成电路等领域的发展需求迅猛增加,对用于制造芯片的晶圆表面加工质量和精度提出了越来越严格的要求,要求其具有极高的光滑度......
目的去除难加工材料钴铬钼合金车削后形成的规则性螺旋刀痕并获得超光滑表面。方法 采用磁流变抛光方法，对车削后的钴铬钼合金表面......
为实现磷化铟高质量表面的绿色加工,使用动态磁场集群磁流变抛光对单晶磷化铟进行正交抛光实验,研究各工艺参数(抛光盘转速、工件......
将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程，基于压痕断裂力学理论......
为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单......
磁流变抛光技术被誉为是光学制造界的革命性技术,能快速实现超高精度面形(数十纳米以下)、超光滑表面质量(1纳米以下)且近无亚表面......
磁流变抛光(Magnetorheological Finishing,MRF)是一种基于电磁学、流体力学、分析化学等理论的综合技术,可以适用于各种光学表面......
随着光学技术的发展,具有超光滑表面的平面光学元件应用越来越广。传统超精密抛光技术大多存在效率低、加工质量不易控制等问题,难......
随着半导体产业的不断蓬勃发展和手机、相机等数码产品的不断普及,诸如IC基片、手机面板等较大面积、高精密的平面元件需求在不断......
磁流变抛光技术是利用磁流变抛光液在磁场中流变性进行抛光的一种超精密加工方法,磁流变抛光液质量对半导体工件抛光的速度和效果......
随着光学、通讯、半导体、航空航天技术的飞速发展,高性能、高精度、高集成的光电系统不断涌现,以光学玻璃、碳化硅、碳化钨、蓝宝......
随着众多科技强国相继开展激光核聚变、激光武器等强激光装置的建设,现代光学系统对光学元件的口径、数量、质量提出了越来越高的......
由于具有优异的光学、力学特性,尖晶石光学零件在航天航空领域具有宽广的应用前景。作为一种多相硬脆材料,尖晶石具有显微硬度不一......
随着我国科学技术飞速发展,对光学元件的要求越来越高。尤其是在非球面光学元件的抛光与研磨领域,非球面反射镜的制造技术遭遇加工......
为优化磁流变抛光对低熔点玻璃表面的加工工艺,文中利用磁流变抛光技术对低熔点玻璃进行抛光,分析了磁流变抛光中工艺参数对低熔点......
为了解决大口径光学元件磁流变高精度加工问题,基于矩阵运算模型,提出了SBB(Subspace Barzilai and Borwein)最小非负二乘与自适应......
熔石英元件在强光光学系统中具有广泛的应用,但低下的加工效率与元件的抗激光损伤能力严重制约了强光光学系统的发展,因此,实现紫......
对利用自行配制的水基磁流变抛光液和磁流变抛光实验样机进行了以抛光去除效率和表面粗糙度为考核指标的工艺实验.应用正交试验方......
随着当今光学以及相关科学技术的迅速发展，光学玻璃、光学晶体、微晶玻璃等硬脆材料在军事、航空航天、电子工业等领域应用越来越广......
随着“工业4.0”的概念及智能制造技术的兴起,当今世界先进制造领域的制造设备正迎来新一轮变革。工件自定位技术作为智能制造技术......
传统的光学零件加工方法效率低下、加工质量不易控制,难以适应社会发展的需求。磁流变抛光技术(MRF)是近年来兴起的一种先进光学制......
半导体晶片磁流变抛光是利用磁流变抛光液的磁流变效应对晶片表面进行超光滑平坦化加工的一种新型抛光方法,其中梯度磁场的形成是......
近年来，随着光学和微电子学及其相关技术的发展，现代光学系统对光学零件的表面形状精度、表面粗糙度以及亚表面损伤程度提出了很高的......
石英玻璃在国防、化工、医疗、机械等各个领域发挥着极为重要的作用。石英玻璃的磁流变抛光技术的超光滑抛光工艺的研究，目前国内这......
水基磁流变液用于磁流变抛光具有去除率高、屈服剪切应力大的优点,是磁流变抛光液的关键材料,研究水基磁流变液的制备技术和性能是......
摘要：针对磁流变抛光技术的研究现状，主要对磁流变抛光技术的原理及应用、产生与发展、当前磁流变抛光研究的重点及其得到的成果等方......
通过分析磁流变抛光误差的频谱特征,发现严重影响成像质量的敏感频率成分误差,采用二维连续小波变换算法确定出敏感频率误差的具体......
针对大尺寸工件的抛光加工特点,设计了倒置式的磁流变抛光装置.详细阐述了符合磁流变抛光要求的磁场发生装置的设计原理,并对抛光......
利用永磁流变抛光技术制造高精度光学元件是一项极具前景的超精密制造技术.对一台五轴联动磁流变数控抛光系统的结构特点、功能特......
针对高陡度非球面光学元件的内凹面抛光难题,提出了一种内凹面磁流变槽路抛光方法。设计与待加工内凹面形状匹配的凸模,并在凸模上......
本文将计算制造中的工件自动定位方法运用于磁流变抛光工艺过程中。通过定位算法的仿真,论证了该方法的可行性;通过去除函数稳定性......
分析了彗尾疵病产生的原因及去除方法.通过研究磁流变抛光的可塑性问题,从可塑性方面分析了彗尾庇病现象产生的过程.利用工艺实验......
