Cr-N薄膜相关论文
目的 提高SS316L双极板的耐腐蚀性与导电性.方法 使用脉冲直流磁控溅射技术,改变基体负偏压,于SS316L双极板上制备了Cr-N薄膜.通过......
采用平面探针测试了衬底附近的电流密度,弧电流和衬底偏压的增加均有助于增加到达衬底附近的离子的数量.弧电流增加引起衬底的温升......
应用空心阴极离子镀制备了ＣｒＮ薄膜．用椭圆偏振测量术对ＣｒＮ薄膜进行测量，用求极值的方法得到了它们的光学常数，并对不同含Ｎ２量的ＣｒＮ薄膜光学......
采用反应磁控溅射在不锈钢衬底上制备Cr-N薄膜,并研究了基片温度、氮气分压和溅射功率变化对薄膜相组成的影响.结果表明,基片温度......
本文综述了多弧离子镀沉积技术的原理和发展,阐述了多弧离子镀沉积技术在工业方面的应用。 介绍了多弧离子镀设备构成,以Cr靶为......
