Ti-Si-N薄膜相关论文
随着材料科学的发展,传统的TiC和TiN薄膜材料不能满足切削刀具材料的要求,Ti-Si-N膜具有高硬度、低摩擦因数、良好的热稳定性和化......
Ti-Si-N薄膜具有高硬度、较好的抗氧化性即热稳定性等诸多优点，并渐渐成为超硬材料的研究热点。因此研究薄膜Ti-Si-N生长的基础理论......
众所周知，Ti-Si-N纳米复合薄膜具有良好的力学、光学、电学等性能。研究者认为TiN与Si3N4两相分离，且界面相SiN包裹纳米晶TiN是导致......
通过在薄膜中掺杂一种或多种其他元素改善或提高薄膜性能，如硬度或热稳定性等，是一种提高薄膜性能的有效方法，而以TiN体系为基础，掺杂......
采用离子束辅助沉积法(IBAD)在单晶硅片上制备了Ti-Si-N纳米复合薄膜,研究了轰击能量大小对Ti-Si-N纳米复合薄膜生长及力学性能的......
用反应磁控溅射方法,在不锈钢表面沉积Ti-Si-N薄膜.用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,Ti-Si-N颗粒尺寸小于0.1 μm,用亚微压入仪......
为了实现对Ti—Si—N纳米薄膜的原子尺度仿真,本文根据第一原理计算结果,采用Morse势对Ti,Si,N之间作用势进行拟合,并利用TiN二维......
用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法在高速钢(HSS)基体上制备了Ti-Si-N薄膜,重点从不同温度退火后薄膜相结构、晶粒尺......
分别利用磁控溅射和脉冲直流化学气相沉积(PCVD)技术制备了Ti-Si-N薄膜,测定了2种Ti-Si-N薄膜的显微硬度,并采用球-盘式高温摩擦磨......
本文通过改变硅靶电流的方法，用自制的磁控溅射设备在硬质合金刀片上制备了Ti-Si-N薄膜。用X射线衍射研究了Ti-Si-N薄膜的结构和织......
首次应用修正嵌入原子法（MEAM）以及动力学蒙特卡洛方法（KMC）对Ti-Si-N薄膜的生长过程进行了计算机仿真模拟。在合理选择势函数及MEAM各......
