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YM-2膜式镱应力传感器及其动态压阻特性
本文介绍了用纯度为99.95%的镱作原料,采用真空蒸发、沉积方式制成的低应力传感器。用φ100 mm压缩气体炮为加载手段,在0~3.4G Pa压......
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