μc-Si:H薄膜相关论文
混合相新型材料微晶硅薄膜结构的多元化造成了其电输运性质的复杂性,输运机制对薄膜制备条件和薄膜结构有很强的依赖性,同时表现出......
以SiH4和H2为反应气源,建立了等离子体增强化学气相沉积法制备氢化微晶硅（μc-Si：H）薄膜的气相反应模型,模拟了硅烷浓度、等离子体参......
单晶硅和多晶硅体太阳能电池成本居高不下，非晶硅和非晶硅薄膜太阳能电池又有光致衰退效应的困扰。多晶硅薄膜太阳能电池则兼具两者......
采用等离子体化学气相沉积（RF—PECVD）技术，在不同衬底温度Ts下沉积了氢化微晶硅（μc-Si：H）薄膜，并深入研究了衬底温度对微晶硅薄膜微结构......
