二氯二氢硅相关论文
本文概述了2002～2003年日本特种气体的产销情况、应用进展及部分公司近况，在文中介绍了四氟化碳、二氯二氢硅、四乙氧基硅烷、硅烷、......
二氯二氢硅(DCS)是多晶硅生产过程中的副产物，由于其化学性质活泼，系统内含量大时存在安全风险，且在传统处理方式下对环境造成威......
化学汽相淀积（ＣＶＤ）设备的使用与维修王焕杰，张克云，陈振昌（复旦大学．上海．２００４３３）自８０年代初开始，化学汽相淀积（简称ＣＶＤ）工艺及其专用设备，在我国半导体器件制......
采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质．纯化后的气体经气相色谱分析，表明化学改住的吸......
应用Aspen plus软件对二氯二氢硅反歧化反应精馏工艺进行了模拟,对反应精馏工艺进行了操作参数优化,在最佳条件下以年度总费用为依......
本文叙述了净化二氯二氢硅的方法。结果表明配合法是除去二氯二氢硅中杂质“硼”的有效方法。
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采用国产常规气相色谱仪分析强腐蚀性气体二氯二氢硅。以氢为载气，用热导检测器，在最佳的色谱条件下，用涂３０％硅油（Ⅰ）的１０１白色担体为固定相，进......
二氯二氢硅(Sicl_2H_2)是一种新型的外延沉积源,比Sicl_4外延沉积温度低,外延层质量高,是目前国内半导体器件科研和生产单位急需......
摘 要：利用二氯二氢硅与四氯化硅反歧化反应生成三氯氢硅的原理，本文提出一种改善二氯二氢硅的反歧化系统试验的有效措施，对反歧化化......
多晶硅作为原材料，被广泛应用于半导体信息产业和光伏产业中。目前国内外存在几种多晶硅生产工艺，而第三代改良西门子法是应用范围最......
多晶硅作为光伏产业的原材料应用广泛。采用改良西门子法生产多晶硅，工艺流程长、多晶硅还原一次转化率较低导致多晶硅的生产成本偏......
目前硅外延生长常用方法是以电子级二氯二氢硅为反应气体,采用化学气相沉积的气相外延法.二氯二氢硅生产工艺主要有歧化法、氢化法......
在特定催化剂作用下采用固定床的方法，消耗二氯二氢硅和四氯化硅生产出氯硅烷（三氯氢硅和四氯化硅的混合物）。分别研究四氯化硅、三氯......
二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三氯氢硅加以回收利......
在多晶硅改良西门子方法生产中，系统中B杂质会富集且很难除去，对产品质量影响很大，另外，运行中会产生一定量的副产物二氯二氢硅，不易回......
随着集成电路产业近年来的高速发展,对可用于12寸晶圆的高纯电子级多晶硅的需求不断提升,但是国内少数厂家仅能进入中低端市场,在......
从洛阳市科技局传来好消息,由中国恩菲和中硅高科共同研发完成的两项科技成果被洛阳市人民政府授予洛阳市科学技术进步奖,其中＂多晶......
2019年3月20日,中硅高科参展SEMICON China 2019。展会由国际半导体设备与材料协会(SEMI)中国委员会主办,是全球规模最大、规格最......
电子级二氢硅二氮二氢硅是国家急需的新型电子化工材料。它是利用多晶硅厂的排放液。采用精馏和络合吸附等技术研制生产成功的。主......
采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析表明，化学改性的......
针对二氯二氢硅对多晶硅生长过程中的促进作用,介绍了一种从还原副产物中提纯二氯二氢硅和三氯氢硅混合物的新工艺.对比了新工艺和......
本文对二氯二氢硅反歧化反应在热力学上的可行性进行了理论研究；并借助计算机模拟，探讨了不同温度、压力和进料配比对二氯二氢硅在反......
在港上市公司保利协鑫子公司协鑫光伏今日宣布，启动1万t二氯二氢硅（DCS）岐化系统，这是目前国内容积最大的同类项目。......
采用国产常规气相色谱仪分析强腐蚀性气体二氯二氢硅。以氢为载气，用热导检测器，在最佳的色谱条件下，用涂３０％硅油（Ｉ）的１０１白色担体为固定相，进样......
利用二氯二氢硅与四氯化硅反歧化反应生成三氯氢硅的原理,提出一种用于回收处理二氯二氢硅的反应精馏流程,其特征是将四氯化硅含量......
多晶硅生产过程中副产物二氯二氢硅,可在催化剂作用下与四氯化硅发生逆歧化反应生成三氯氢硅。通过利用反应精馏技术,使逆歧化反应......
根据二氯二氢硅原料分析得到其实际组成与含量,结合工厂现有的生产设备与生产情况,应用AspenPlus软件设计并模拟了分离二氯二氢硅......
二氯二氢硅在半导体行业有广泛的应用,是一种重要的电子级硅基原料,但是二氯二氢硅在生产、充装、仓储、运输、使用的过程中有较大......
针对多晶硅生产废气难以处理的问题，采用全新工艺回收生产废气中的氯硅烷，同时以氯化钙晶体的形式回收废气中的氯元素，降低外排废水中......
多晶硅产能近几年迅速扩张,副产物四氯化硅（SiCl4,简写STC）和二氯二氢硅（SiH2Cl2,简写DCS）随之迅速增加。出于环境保护和生产经济性考......
近日，从河南尚宇新能源股份有限公司技术中心了解到，该公司自主研发的二氯二氢硅反歧化反应系统自2月份运行以来保持稳定。该系统的......
<正>本发明提供了一种三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅的精馏方法:包括:a)将含有三氯氢硅、四氯化硅和二氯二氢硅以及杂质的原料液......
论述了多晶硅的生产工艺,主要包括西门子法、改良西门子法、硅烷法、流化床法。其中改良西门子法生产成本低、污染小而成为目前生......
SEMI C3-0699气体规范SEMI C3.12-1102瓶装氨标准，纯度99.998%SEMI C3.1-93 (Reapproved 1101)...
采用特定的催化剂,在反歧化精馏装置上由二氯二氢硅制备三氯氢硅。研究了物料配比、温度、压力、回流量等因素对二氯二氢硅转化率......
简单介绍了二氯二氢硅的生产方法,以1 000 t多晶硅生产系统为例,计算出还原工序、四氯化硅氢化工序、三氯氢硅合成工序以及整个系......
随着环境污染和能源短缺问题的加剧,各国纷纷开始新型能源的开发,多晶硅的市场需求量也随之增加,而四氯化硅和二氯二氢硅等副产物......
