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碳化硅单晶衬底作为宽禁带半导体材料处于半导体产业链的前端,是制造器件的核心关键材料,在光电器件、功率器件和射频器件等领域具......
石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件。石英玻璃在加工过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题，化......
单晶高温合金零件因其优异的高温性能,被广泛应用于航空航天、船舶等领域。然而其强度高、硬度大,属于典型的难加工材料。在单晶零......
高精元件广泛应用于能源、空间、国防装备、集成电路与MEMS等领域,亚表面损伤的存在会极大地影响高精元件的光学、机械性能.到目前......
在不同弹性抛光布、不同氧化浓度、不同 p H值的抛光液等条件下进行了化学机械抛光试验 ,并用 TEM测量了晶片亚表面损伤层厚度 .研......
光学材料的亚表面损伤层( SSD )是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化，尤其是在高精......
在不同弹性抛光布、不同氧化浓度、不同pH值的抛光液等条件下进行了化学机械抛光试验，并用TEM测量了晶片亚表面损伤层厚度。研究发......
本文通过测量ＳＩ－ＧａＡｓ抛光晶片及其本体（腐蚀了晶片的亚表面损伤层）的Ｘ射线回摆曲线ＦＷＨＭ，与抛光晶片的ＴＥＭ观测相结合，作出晶片回擂曲线ＦＷＨＭ的比率Ｒ与ＴＥＭ观测的晶......
采用ＴＥＭ、Ｘ－ｒａｙ Ｒｏｃｋｉｎｇ Ｃｕｒｖｅ等测试的方法，对ＧａＡｓ晶片化学机械抛光后亚表面损伤层引入的深度进行了分析，探讨了碱性ＳｉＯ２胶体水溶胶加入不同浓度的电解质（ＮａＯＣｌ）后所发......
通过实验数据和实物照片列出了减薄工艺参数、检测结果;并结合实例研究了现代磨削减薄系统多采用的硅片自旋转磨削技术,探讨脆性材......
电镀金刚石线锯切割技术是切割多晶硅锭的主要加工方式。与游离磨粒线锯切割相比,具有切口损失小、切割效率及精度高、损伤层较浅......
<正>叶片类零件自适应数控加工关键技术研究博士:张莹毕业学校:西北工业大学指导教师:张定华叶片类零件是航空发动机的关键零部件,......
作为纳米技术分支之一的纳米加工技术是在纳米尺度范围内制造物理、化学和生物等功能结构与器件的基础,已经成为衡量纳米技术发展......
