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低能离子束辅助相关论文
低能离子束辅助大面积制备纳米点阵列
本工作研究了离子束辅助下在氧化铝模板中大面积制备纳米点阵列的方法.利用此方法,密度为1.2×1010 cm-2,直径高度统一,排列有序的......
会议
低能离子束辅助
大面积
纳米点阵列
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材料
低能离子束辅助沉积作用下氮化硅/氮化钛复相陶瓷多层膜的结构和特性
该文利用离子束辅助沉积装置进行了氮化硅/氮化钛多层膜的微组装,研究表明,多层膜由晶态的氮化钛和非晶态的氮化硅组成,氮化硅层的氮硅......
会议
低能离子束辅助
沉积作用
氮化硅层
氮化钛
复相陶瓷
多层膜
硬度变化
非晶态
沉积装置
原子比
微组装
结合能
组成
韧性
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