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光化学腐蚀法相关论文
一种重氮萘醌系光致抗蚀剂的制备与性质研究
本实验采用2,3,4-三羟基二苯甲酮作为接枝化母体,与2,1,4-重氮萘醌磺酰氯进行酯化,合成感光化合物,得到产物1.46g,测得熔点为143℃......
期刊
重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂
光化学腐蚀法
合成
成像实验
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