密封卡紧螺栓装置相关硕士博士期刊学术论文

摘要多晶硅行业设备因其工艺性质及操作特殊性，大部分为特种设备，密封要求较高。静设备采用标准垫片和螺栓压紧密封。多晶硅生产中......