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抛光液组分配比优化相关论文
PSO-SVM算法模型在CMP抛光液组分优化中的应用研究
目前,集成电路(IC)按照摩尔定律飞速发展,对晶体管的集成达到超大规模阶段,布线层数超过十层,对超精密平坦化加工技术的精度提出更高......
学位
化学机械抛光(CMP)
粒子群优化(PSO)算法
支持向量机(SVM)
抛光液组分配比优化
压力传感器
温度补偿
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