无油真空系统相关论文
本文详细介绍了日本近几年来一般真空获得设备、无油真空系统和真空应用设备的最近进展,并指出由于日本半导体和LCD(液晶显示)产业的迅速......
在材料表面改性装置中,全方位离子注入技术与常规离子注入技术的主要区别在于注入离子存在于包围工件的等离子体中且近似垂直于工......
一、实验装置和方法采用全金属的半无油真空系统(见图1)。前级用2XQ-1型机械泵,超高真空使用的是3TL-300型溅射离子钛泵。自行设......
引言 粒子加速器、空间技术、电子工业等广阔的科技生产领域对无油超高真空的要求,推动了无油真空系统的研制和发展,它的使用已日......
在具有腐蚀和清洁的环境下,广泛使用油旋转泵存在某些缺点。在腐蚀环境中的各 种应用,腐蚀性蒸汽或磨损粒子会污染泵的润滑剂,缩短了......
我们在1974年四季度安装、调试了一台超高真空无油排气系统,并于同年12月开始试排本所近年研制的一种短波大功率发射管。今天又增......
为适应现实生产斗争和科学技术发展的需要,微波技术的应用领域正在不断扩大,各种新的应用必然对微波管也提出新的要求,这些要求主......
一、前言在无产阶级文化大革命的推动下,电真空事业蓬勃发展,无油真空系统在电子器件上的应用日益广泛,不少单位有了实例。我们在......
本文介绍了我国刚刚建设完成的一台大型空间环模试验设备中所应用的清洁真空技术。该设备是目前国内最大的卧式环模设备,在800m3的......
本文主要研究用无油真空系统作为排气方法在荧光显示管生产中的作用。...
本Ee-BES-40A电子束曝光机是电工所引进美国Varian公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术,及其排除方法,其中,应用了“压......
无油超高真空技术在近代真空技术及广泛的科学领域中起着重要作用.尤其对于电真空器件的研制与生产有着特殊的意义。本文试图与油......
大型空间环模试验设备主要用于为卫星、飞船、探月飞行器的整星真空热试验与大尺寸天线真空低温环境下展开试验提供高真空、全吸收......