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利用溶液法的浸渍提拉工艺制备了以有机聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为介质层、非晶铝铟锌氧化物(a-AIZO)为沟道层的顶栅共面结构薄膜晶......
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薄膜晶体管
非晶氧化物半导体
浸渍提拉法
有机介质层
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