热丝化学气相沉积相关论文
采用热丝化学气相沉积法制备出硼掺杂金刚石薄膜,激发出了金刚石薄膜的电学性能,结合金刚石薄膜在工具方向的应用,成功制备出硼掺杂金......
为提高金刚石涂层与硬质合金基体的适配性,采用热丝化学气相沉积技术在YG6硬质合金表面制备金刚石涂层,利用扫描电镜、能谱仪、原子......
金刚石是目前使用的材料中硬度和热导率极高的物质,在微电子材料、光学材料、硬质镀膜等领域有广泛的应用。但是天然生成金刚石需......
金刚石具有高硬度、高弹性模量、高热导率和高耐磨性等优异物理性能,作为涂层材料,在硬质合金基体超硬涂层领域极具应用价值。然而......
利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在碳化硅基底上制备金刚石薄膜,采用场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、原子力显微镜研究了在不同......
采用掠角热丝化学气相沉积(GLAD-HWCVD)技术,在140℃的衬底温度下,制备了定向生长的晶化硅纳米棒(silicon nanorods,SiNRs)。发现了在......
通过热丝化学气相沉积法(HW-CVD),采用间歇供气方式制备硅薄膜.实验发现该方法在有机衬底上生长的薄膜为多晶硅结构,而采用连续供......
本文通过C-V和C-F测试研究了热丝化学气相沉积(HWCVD)过程中不同缓冲层晶化度条件下太阳能电池的界面特性.缓冲层晶化度的提高可以......
为了研究微晶硅薄膜的生长机制,本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)制备一系列不同生长阶段的微晶硅(μc-Si:H)薄膜,用原子力显微镜(AFM)系统......
本文采用热丝化学气相沉积的方法,以乙炔和氢气作为气态源,在石英衬底的表面制备非晶碳膜,研究了不同衬底温度(450~850℃)和冷却方......
将等离子体引入热丝化学气相沉积(HWCVD),制备了多晶硅薄膜,通过Raman散射、XRD、红外吸收谱等手段研究了薄膜结构性质.结果表明,......
为了研究微晶硅薄膜的生长机制,本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)制备一系列不同生长阶段的微晶硅(μc-Si:H)薄膜,用原子力显微镜(......
本文报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研......
采用热丝化学气相沉积方法,在孔型经优化设计的扇形孔绞线紧压模内孔沉积了厚度均匀、附着性能优异、相对易于抛光且具有很好的耐......
发射光谱(OES)是对等离子体过程进行检测和诊断最常用的方法,利用等离子体发射光谱,在甲烷/H2/Ar 和丙酮/H2/Ar 两种碳源体系下,对热......
采用基体自形核法,研究了光滑铜基体表面超声研磨预处理对于基体表面CVD单晶金刚石微粉沉积的影响.研究结果表明:未经超声研磨预处......
目的 选择合适的过渡层材料改善三维连通泡沫铜衬底与金刚石之间的结合性,制备出三维连通结构的泡沫金刚石.方法 选择三维连通的泡......
通过改变甲烷浓度、沉积气压、热丝功率以及沉积时间等参数,利用热丝化学气相沉积法(HFCVD),在氧化铝泡沫(AF)上沉积了一层纳米金......
硼掺杂金刚石薄膜在电化学领域具有十分广阔的应用前景,在电化学传感器方面表现出高灵敏度、快速响应和强的抗干扰性等优势,本文围......
在光伏领域中,晶体硅(包括单晶硅和多晶硅)太阳电池一直在市场中占有主导地位(约占95%以上),但是由于晶体硅是体材料,在太阳能电池......
金刚石的光谱透过范围宽,折射率高(2.4),光交换性能好,在中红外区域波长范围内的光衰减低于1 dB/cm其禁带宽度远大于同族元素硅和......
天然资源的短缺和空气污染的加剧,人们对新型能源的需求越来越迫切。燃料电池因其能量转化率高、环境友好、设备简单、操作方便等......
采用等离子体增强热丝化学气相沉积法在Si(111)衬底上生长金刚石薄膜 ,扫描电子显微镜 (SEM )和X射线衍射 (XRD)分析结果表明金刚......
本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术,在低温下(525℃)进行多晶硅薄膜的外延生长,研究了氢在多晶硅薄膜低温外延中的作用.制备的......
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法,在Mo、Ti、Re 及Mo-Re合金四种薄片基体上沉积了厚度为300nm 左右的金刚石薄膜。利用场发射扫描......
采用热丝化学气相沉积法,以平行布置热丝方式及优化的预处理和沉积工艺,在复杂形状硬质合金立式键槽铣刀表面制备出均匀的微米级金......
采用热丝化学气相沉积法在B212型YT15硬质合金成形铣刀片上制备了微米级金刚石涂层,并以65%SiC颗粒增强铝基复合材料为试件材料进......
研究热丝化学气相沉积(HWCVD)中高温热丝对衬底温度的影响,热丝扫描电镜表面形貌和Auger谱表明了硅在钨丝表面的沉积,讨论了金属硅......
用热丝化学气相沉积(HF-CVD)方法成功地合成了β-C〈,4〉N〈,4〉晶态膜,通过SEM观察到β-C〈,4〉N〈,4〉的晶体形貌,通过XRD测定其晶格常数a=6.24A°,c=2.36A°,与理论预测值相近,利......
基于硅纳米线(棒)阵列制备的径向pn结太阳电池陷光性能良好,具有光吸收和载流子收集方向相互垂直的特点,有实现高效太阳电池的潜能,是目......
目的 分析硼掺杂织构金刚石薄膜的微观组织结构和表面质量,并探究刀具基体表面不同织构对薄膜结合强度和切削性能的影响.方法 通过......
金刚石膜因在力学、热学、光学及电学等方面具有独特的性能,所以在各个领域都有十分广泛的应用,CVD金刚石涂层刀具以及PCD(聚晶金......
掺硼导电金刚石(boron doped diamond,简称BDD)电极因其优异的物理化学稳定性、低背景电流以及很宽的电势窗口,在重度废水及高品质日用......
本工作采用激光溅射沉积(PLD)和激光辅助热丝化学气相沉积(HFCVD)两种实验技术制备了SiC薄膜,并对薄膜特性进行了研究。用扫描电镜(......
微晶硅(μc-Si:H)薄膜在薄膜太阳电池和薄膜晶体管等大面积电子学方面具有明确的应用前景.由于具有高速沉积、气相利用率高和易晶......
金刚石具有硬度高、耐磨性好、摩擦系数小、导热性高、热膨胀系数低和化学惰性等优良特性,在特种刀具领域具有很好的应用前景,是目前......
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法分别在镀Ag、镀Cu玻璃衬底上低温沉积出高质量多晶硅薄膜。使用XRD、Raman光谱、扫描电子显微镜(......
随着电子和光子产品朝着速度更快、体积更小、功率更高的方向发展,基片材料的选择和提高基片材料的导热性能成为重要的研究课题。......
热丝CVD金刚石薄膜在很多领域都存在有巨大的应用前景,对热丝CVD制备金刚石薄膜的研究也取得了很大进展。提高金刚石薄膜的生长速......
金刚石是一种集多种优良性能于一体的功能材料,它具有很高的硬度、很低的可压缩性、极佳的化学惰性、很低的介电常数、很高的禁带......
掺硼金刚石(BDD)薄膜作为一种新型半导体薄膜材料具有广泛的应用前景。本实验着重研究了BDD薄膜电极测定铜离子的电化学行为并建立......
晶硅薄膜太阳能电池具有实现低成本-高效的潜力。高质量晶硅薄膜材料的制备以及适合超薄晶硅陷光结构的制备是提高器件效率的两个......
该论文简要回顾了金刚石,富勒烯和碳纳米管的特性和研究发展过程,并且重点介绍了作者使用热丝化学气相沉积方法研究金刚石的形核和......
新型有机无机复合太阳电池是采用有机半导体材料作为发射极或背场层,与无机半导体形成的新型异质结太阳电池。由于有机层制作工艺简......