电子级多晶硅相关论文
电子级多晶硅是电子工业生产中的重要内容,在现代工业生产中的应用比较广泛.电子级多晶硅生产企业需要加强对产品质量的保障,提升......
国内高端电子级多晶硅长期被国外垄断,理论研究和产业化实现都与国外存在差距,严重威胁了集成电路行业的安全发展.江苏鑫华半导体......
通过分析多晶硅还原炉尾气回收装置循环氢气中杂质的种类、来源、去除工艺,确定采取循环氢气深冷分离除杂技术解决磷化氢、砷化氢......
摘 要：电子级多晶硅行业在半导体行业中有其特殊性，产品是集成电路用主要原材料，对材料的稳定性要求极高，但是国内外合格供方较少，尤其......
国内多晶硅生产线大部分是按照太阳能级标准设计建造的,产品质量与电子级多晶硅差距较大。本文通过分析电子级多晶硅国家标准,逐项......
为了进一步推动我们国家在工业生产过程中对于电子级多晶硅的纯度,本文采用文献综述、实证研究等方法对其多晶硅过程中存在的工艺......
随着集成电路产业近年来的高速发展,对可用于12寸晶圆的高纯电子级多晶硅的需求不断提升,但是国内少数厂家仅能进入中低端市场,在......
电子级多晶硅后处理工序的核心工艺是硅料化学清洗,目的是去除电子级多晶硅表面金属杂质,其清洗效果主要通过表金属检测来判定。此......
按照当前电子级多晶硅清洗技术的应用现状,本文简要总结电子级多晶硅清洗质量影响因素,希望可以为相关工作者提供理论性帮助。......
对电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅产生原因进行分析,从还原炉工艺优化调整、尾气回收系统过滤除尘方面研究相对应无定型硅的......
多晶硅用换热器的清洗是一项重要的工作,对其进行定期清洗很有必要,不仅能降低生产用的耗费,还可以提高工作效率,把积留已久的污渍......
本文回顾了电子级多晶硅发展历史,阐述了设计质量的重要性,分析了超高纯电子级多晶硅生产线与太阳能级多晶硅生产线设计上的异同,......
在电子工业的生产过程中,电子级多晶硅的应用十分广泛。因此,加强对电子级多晶硅生产环节过程中的关键工艺控制,才能够确保其产品......
晶体硅材料是半导体行业和太阳能行业的基石,根据用途的不同分为光伏级和电子级,后者对制备工艺有着更苛刻的要求。改良西门子法是......
文章介绍了几种常见的电子级多晶硅生产技术,分析了我国在该项目中的主要特征和优势,并指出在生产电子级多晶硅时应注意的关键工艺......
电子级多晶硅（10-12的纯度）生产线三氯氢硅精馏提纯所使用的冷凝器和再沸器,如果发生腐蚀、泄漏问题,所造成的危害非常大。发生泄漏......
<正>5月初,江苏鑫华半导体材料科技有限公司集成电路用高纯度硅料小批量出口韩国,并已向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着鑫......
文章通过分析SiHCl3氢还原与尾气回收工艺过程,寻找伴生无定型硅生成的客观原因;根据无定型硅少产生、早拦截的原则,提出电子级多......
本文主要通过相关实践案例来对电子级多晶硅在实际生产过程中所面临的质量影响因素进行详细的分析,并针对性的提出一系列有效的解......
改革开放以来,随着我国科技的不断发展,人们的生活水平也得到显著提高,越来越多的高科技应用到人们的生活当中。本文所要探究的是......
本文主要结合我公司目前所掌握的硅烷法多晶硅生产技术和国外先进技术,对电子级多晶硅生产关键改良技术进行了全面的分析和探究,进......
集成电路用半导体材料是集成电路、半导体器件制造的基础材料,是一种十分敏感的战略性资源.集成电路用半导体材料智能制造应用研究......
硅芯在制造过程中和在还原炉初期沉积过程中不同程度受到杂质的污染,本论文针对硅棒生长过程中硅芯部位杂质来源,从石墨部件、惰性......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
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<正>高纯、超高纯多晶硅包括电子级、区熔级多晶硅,是主要的半导体电子材料,也是国防航空的基础材料,其后续产品广泛应用于电子信......
<正>硅(Si)是最重要的半导体材料,它在自然界中含量丰富,仅次于氧而排第二。单质硅有结晶型和无定形2种,结晶型硅是一种有灰色金属......
<正> 半导体材料是半导体工业的基础材料。在半导体材料中用量最大和用途最广泛的是半导体硅。当今95％以上的半导体器件是用硅材料......
<正>创新引领时代,科技成就未来。今天的云南,正以崭新的姿态,以坚持不懈的"创新型云南建设"行动,开创着跨越式发展之路。创新的时......
介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制......
多晶硅是采用工业硅作为原料,在经过了一系列的物理化学反应提纯之后达到一定纯度的电子材料,在硅产品产业链之中是相当重要的中间......
电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响影响下游晶圆制造产品质量,所以对其金属杂质......
随着现代经济的发展,促进了我国科学技术的迅猛发展。目前,我国电子级多晶硅工艺技术逐渐成熟。提高现代电子级多晶硅产品的质量,......
随着改良西门子法生产多晶硅工艺技术的日趋成熟，提高多晶硅产品的质量，增强市场竞争力成为多晶硅企业生存与发展面临的重大课题。本......
<正>1煤炭间接液化制备超清洁油品和高附加值化学品（1）关键技术研发煤炭间接液化是将煤气化制得合成气（CO+H2）并经变换、净化（脱除CO2和......
电子级多晶硅在电子工业生产中的应用相对广泛,和电子产品的电路级功能和二极管功能产生影响。基于此,电子级多晶硅制造企业需要保......
利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还......
利用PolySim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场......
<正>《中华人民共和国环境影响评价法》(以下简称环评法)是在2002年10月28日,第九届全国人大常委会第三十次会议上表决通过,自2003......
电子级多晶硅表金属杂质含量作为行业中的一项重要质量指标,其稳定性关系到企业的生存与发展.目前,降低电子级多晶硅表面金属杂质......
电子级多晶硅是集成电路产业链中重要的基础材料,是制造集成电路抛光片、高纯硅制品的主要原料。电子级多晶硅表面金属杂质含量的......
电子级多晶硅是微电子行业、信息产业和新能源产业的基础性材料,目前,全球电子级高纯多晶硅总产能约31000 t,我国高品质多晶硅仍然......
