HF/HNO3/H2O刻蚀体系广泛应用于微电子加工和硅太阳能电池绒面加工工艺中.也是近几年来学者研究的重点.系统中影响硅片刻蚀速度的......

研究了晶体硅太阳电池酸绒面制备中，NH3·H2O在HF／HNO3／H2O体系中对硅片刻蚀速度的影响．实验结果表明,当NH3·H2O加入量较少时......

随着化石能源的日渐枯竭,如何解决能源紧缺的问题已经成为全球共同关注的热点,而新能源材料又是新型能源开发与利用的基础和先导。......