紫外皮秒激光相关论文
近年来,紫外皮秒激光在微纳加工、物质检测、生物医学技术等领域的应用逐渐深入。目前,由于缺乏合适的直接产生紫外光的激光光源,......
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针对体硅的加工应用,开展皮秒紫外激光三维刻蚀单晶硅工艺研究.通过工艺实验,得出在激光脉冲能量6μJ,固定XY点间距4μm,在单晶硅......
