绝对检测相关论文
数字全息显微术作为一种新型的成像技术,是一种用于获取定量相位图像的无损、无标记、准确和近实时的干涉测量技术。到目前为止,数......
超精密光学元件面形检测和系统波像差在投影物镜光刻、引力波探测、惯性约束激光核聚变等重要工程项目和前沿科学研究中有着举足轻......
为了实现大口径椭圆形光学平面镜的高精度面形测量,提升大口径望远镜系统的像质,本文对椭圆形平面反射镜面形的绝对检测算法进行了......
光学零位干涉测试是一种相对测量方法，已经广泛应用在光学元件的高精度检测中。为了消除包括参考面误差在内的系统误差，进一步提升检......
针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面......
针对旋转平移法在检测过程中存在偏心误差的问题，提出一种基于三维面形的图像配准偏心误差修正方法。首先采用旋转平移绝对检测法获......
绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测......
传统光学干涉检测方法为相对检测法,检测精度一般受限于参考面面形精度,利用绝对检测技术可消除参考面面形误差对干涉测量精度的制......
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转......
本文提出了一种改进六步翻转法,同时实现平行平板均匀性以及绝对面形的测量,结合相应的稀疏迭代算法,进一步实现高精度的均匀性和......
随着大口径平面光学元件在科技领域的广泛应用,其面形高精度检测常采用干涉测量来完成。菲索干涉是具有代表性的干涉检测方法,其检......
为实现同步辐射用光学元件面形的绝对检测,发展了镜面旋转对称三平板检测法。该方法将菲佐干涉法检测到的波前函数关于y轴分解成镜......
随着光学技术的蓬勃发展，以高精度光学元件为核心的光学系统在天文、空间光学、惯性约束聚变装置、深紫外和极紫外投影曝光系统等高......
以投影光刻物镜为代表的现代高端光学系统已经将光学元件干涉面形检测推向了“极限”，光学元件面形质量要求达到均方根值(rms)纳米......
光学零位干涉测试是一种相对测量方法,已经广泛应用在光学元件的高精度检测中。为了消除包括参考面误差在内的系统误差,进一步提升......
光学系统对光学平面面型精度的要求越来越高,对其相应的检测技术也提出了更加苛刻的要求。在光学平面检测中,传统的利用干涉仪直接......
球面绝对检测方法可以去除参考面面形误差的影响,从而提高了被检面的检测精度.在此高精度的检测中,被检面机构调整误差和环境扰动......
改进三平面互检法用于干涉测量中的三维面型绝对检测的可行性已经得到验证,而旋转测量次数已经成为影响这种检测方法检测精度的一......
用于涉法进行面型测量时,参考面三维面型的绝对检测是提高其测量精度的一个重要手段,改进三平面互检法在这里应用的可行性已得到验......
为利用有限元法和面形检测结果反演出光学元件的面形，对面形检测结果进行分解，并对旋转平均法面形检测原理进行分析，讨论采用忽略光学......
为了实现高精度平面面形绝对检测,对传统的立式三平板绝对检测方法进行了重力变形补偿.通过有限元软件仿真了平板在水平放置于工装......
针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测......
为了避免平行平晶测量时前后表面干涉的影响,基于点源异位同步移相原理,提出一种均匀性绝对测量方法.测量分为平行平晶前后表面干......
分析了计算全息位相探测干涉仪系统的原理特点，提出三波面类剪切干涉法，以消除系统误差，提高非球面检测精度，达到绝对测量的目的。该法......
提出了一种基于两平板绝对检验的迭代面形恢复算法。算法基于两平板互检方法,通过分别翻转和旋转其中一块平板,获得4次两两测量结......
基于Zernike多项式拟合三平面互检法,在理论上对光轴偏离、旋转角度以及有效面积对不同面型精度平面的测量误差进行了分析,并分别......
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针对平面干涉检测技术的检测精度受限于参考面面形精度的问题,提出使用基于奇偶函数的高精度绝对检测方法消除干涉系统中参考面面......
随着大规模集成电路制造水平的发展，光刻机的地位日益突出。投影光刻物镜系统是光刻机的核心部分，为完成具有高NA、大视场投影光刻物......
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测......
随着光学行业以及高分辨率的投影光刻系统、遥感等技术的发展,对光学元件表面面形地检测精度,特别是高精度球面面形检测精度要求越......
光栅横向剪切干涉仪可以实现超高精度的光刻镜头系统波像差检测,为了实现超高精度的绝对检测,必须消除来自干涉仪的系统误差。本文......
为了实现多对极磁电式轴角编码器的高分辨率绝对式检测并降低其成本,基于改进格雷码构建了一种新型多极磁电轴角编码器模型,提出一......
随着科技的不断发展，对光学元件面形检测精度的要求越来越高，面形rms值会达到纳米甚至亚纳米级。绝对检测技术可以通过多次测量，将参......
绝对测量技术去除了干涉仪参考面面形误差,可实现光学材料光学不均匀性的高精度测量。对现有主要光学材料光学不均匀性绝对检测技......
大口径光学元件是现代大型光学系统必要的组成部分，随着光学加工和检测技术的不断发展，以非球面镜为关键部件的大型光学系统在天文、......
当今社会对光学检测水平要求越来越高，特别是在投影光刻曝光光学系统中，对面形RMS值的要求达到纳米甚至亚纳米。EUV光刻物镜对面形要......
针对非球面度为0．2λ的大口径抛物面反射镜，采用激光干涉法在ZYGO干涉仪上进行直接检测．对从干涉图获得的实际波面与理论计算的理想波......
随着光刻、遥感等技术的发展对光学元件检测精度有了更高的要求。在现行的光学系统中,球面光学元件依然占最重要的地位,因此提高球......
随着第三代同步辐射和自由电子激光光源以及光束线技术的发展，以掠入射反射镜为代表的大尺寸高精度光学表面的应用日益广泛，尤其是大......
用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器，在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此......
学位
随着光学行业以及相关技术领域的发展,光学表面面形的检测精度需求也越来越高。球面绝对检测方法可以去除参考面面形误差的影响,从......
