薄膜应力相关论文
采用离子辅助电子束蒸发方法,通过改变制备Al2O3增透膜时基底的温度,在边发射半导体激光器前腔面上分别制备了张应力和压应力增透......
随着科学的进步和技术的革新,薄膜基底结构被广泛地应用到高新技术产业的各个领域。基底上的薄膜结构在制造和加工过程中会不可避......
微机电系统(MEMS)器件用预埋腔体绝缘体上硅(Cavity-SOI)直接键合制备过程中,预埋腔体刻蚀后残余应力导致的衬底层变形会影响绝缘......
大口径反射镜高反膜是大口径空间相机光学系统中的重要光学元件.为了观测到更多的目标、获取更多的地球以及空间观测信息,对大口径......
从实验上验证了基片曲率变化引起的光学薄膜厚度变化的不均匀性是引起这种窄带干涉滤光片光谱退化的主要原因，实验结果为：IOOGHz窄带......
为了解决微电子特别是MEMS(微电子机械系统)器件结构中的氮化硅薄膜的应力问题,本文采用了离子注入的方法来获得低应力的氮化硅,分......
采用哈特曼夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的SiO2,TiO2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值......
在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密......
二、铺层应力计算1.薄膜应力计算
Second, lay stress calculation 1. Thin film stress calculation...
本文以天然气管道三通为研究对象,通过ABAQUS对其进行数值模拟分析,然后依据ASMEBPVCⅧ-2《压力容器建造另一规则》第5篇相关内容......
建议将应力分析法引入液化气罐车设计铁道部西安车辆工厂陈爱丽从１９７８年开始，铁路罐车的设计一直遵守ＴＢ１３３５—７８《铁道车辆强度设计及试验鉴定规......
为满足使用的要求,对与筒体相切的异形接管(底部为矩形,顶部为圆形,以下称天圆地方)进行有限元分析,使其本身的强度和与筒体连接处......
在分析长输管道损伤状态、对管道薄膜应力大小基础上,开孔补强应开椭圆孔,其长轴与压力管道的轴线垂直极大降低孔边的应力集中。通......
半导体基片上薄膜应力的测试装置＊杨银堂付俊兴周端孙青（西安电子科技大学西安７１００７１）０引言应力是表征薄膜特性的一个重要参数。半导体器件中......
本文论述了Ω形膨胀节的制造、设计和性能的试验研究；论证了Ω形膨胀节比之Ｕ形膨胀节内压产生的应力较小、疲劳寿命较长、抗内压先稳......
采用光学相移法 ,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究。研究表明 :随退火温度的升高 ,Cu膜应力减小 ,2 0 0℃时平均应......
本文用三向光弹性试验法对开口和闭口薄壁杆件接头进行了应力分析。采用组合板壳结构的三向光弹性试验法,得到了薄壁杆件接头处的......
上文重点介绍了美国标准协会BSI PD6493(1980)建议的修订本进展的主要内容,为了较完整地对被建议的三类水平评定方法有较全面的理......
为了控制高损伤阈值高反射镜膜层的应力,研究了沉积过程中沉积倾角、充氧量对高、低折射率单层膜应力大小的影响。研究发现这两个......
本文用有限元法,对混流式水轮机转轮的强度进行了计算,并与实测结果做了比较。探索了由于下环尺寸、叶片形状等的改变对转轮强度的......
通过对比分析GB/T150与ASME压力试验时的压力最低取值以及受压元件应力校核的方法,并结合锥形封头承压下不同位置的应力情况,指出......
增透膜在透射光学元件上的运用,提升了光学系统的光学性能,拓展了光学系统的应用领域。目前,在640nm-660nm的窄波段内单层增透膜的......
使用有限元分析方法对介质激光高反镜镀膜前后的元件面型变化及膜层应力分布进行研究,仿真结果表明:残余应力和热应力都呈层状分布......
在旋转壳体的薄膜应力体系中,假定壳体的边界系支承在一组放射形可动的小杆上,该小杆位于壳体的边界,而与壳体的径线相切,如图1所......
本文从相似关系着手提出了一种测定薄壳应力的光弹性贴片方法。为了分离薄壳的 内力，作者提出了两次贴片技术，在文中还提供了测定圆......
在毛主席的无产阶级革命路线指引下,在党的正确领导下,我国石油工业有了很大的发展,具有重大的政治和经济意义。大型油罐的设计制......
在航空、建筑等工程中常用到具有加劲肋的薄壳。在弹性范围内一般采用的计算方法是把此种薄壳用正交各向异性的壳来代替。但如Ю．Н......
使用实验与有限元计算相结合的新应力分析方法,对磁力偶合式高压釜进行研究,利用实验应力分析中的电测法确定连续条件,并建立合理......
本文以100m~3的玻璃钢球罐为例,根据旋转球壳无力矩平衡方程,计算出球壳的薄膜应力,从而确定了球罐各部位的厚度;按反应谱理论计算......
介绍了自平衡角式截止阀的工作原理及材料选用,提供了一次薄膜应力极限计算公式和强度及其性能试验。
This paper introduces the......
使用有限元分析软件,对压力容器的接管部位进行局部应力分析,得到了接管处应力强度的分布情况,并在危险截面处进行应力线性化处理,......
在使用JB/T6735—93标准《锅炉吊杆强度计算方法》进行圆钢汽包吊杆强度设计的过程中,发现在吊杆比较短的情况下,由于温度膨胀所引......
通过大量图例和有限元模型分析计算结果,介绍了冶金工程管道系统中管道与接管的相交角度对管道应力、变形的影响和接管的大小与管......
自由曲面结构不仅要具备良好的建筑表现力也要保证其受力合理性。利用自由曲面结构形态创建的非均匀有理B样条-梯度法(NURBS-GM)得......
潜艇失事沉设之后,通常是利用鱼雷发射管、耐压设闸室和舱室的救生闸套,并穿戴单人脱险装具,进行调压后,实施艇员单人脱险。这种......
叙述了Seemann-Bohlin聚焦Guinier薄膜相机(S-B相机)的衍射几何及应用这种相机同时测定薄膜应力和点阵参数的基本原理。给出了制作......
薄膜应力可用ｘ射线掠射法测量，２θ－ｓｉｎ￣２φ失去线性时，采用小角掠射，有可能使２θ－ｓｉｎ￣２φ恢复直线，并由斜率计算应力；２θ－ｓｉｎ￣２φ维持线性时，依次改变掠射角，可望......
本文讨论了一种采用拉伸释放薄膜宏观内应力的Ｘ射线应力测量方法，并用此方法测量了含有梯度过渡层的ＴｉＮ薄膜的内应力。
In this paper,......
针对梯度薄膜材料的特殊性，在平面应力近似基础上进行热弹性理论推导，结果表明，梯度薄膜材料的热应力极值由梯度薄膜材料本身的性质决......
超大规模集成电路 (VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高 ,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径 .探索......
美国哥伦比亚大学陈希等与浙江理工大学李超荣和中科院物理研究所曹则贤等合作,基于以Ag为核、以SO2为壳的系统,通过数值模拟和实......
