铬掩模版制造相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

铬掩模版制造相关论文

采用PMMA LB膜作为电子束抗蚀层进行100mm高分辨率铬掩模版的制作研究

在发展流动亚相法制备高粘度聚合物分子单层膜装置的基础上，研究制备大面积、高质量的PMMALB膜抗蚀层，并用于100mmCr掩模版的电子束......

期刊

掩模 PMMA LB膜高分辨率抗蚀性铬掩模版制造湿法工艺单层膜亚相深亚微米线宽

采用PMMA LB膜作为电子束抗蚀层进行100mm高分辨率铬掩模版的制作研究

在发展流动亚相法制备高粘度聚合物分子单层膜装置的基础上，研究制备大面积，高质量的ＰＭＭＡＬＢ膜抗蚀层，并用于１００ｍｍＣｒ掩模版的电子束光刻制造技术......

期刊

铬掩模版制造光刻电子束 PMMALB膜 IC

看过本文同时还关注