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MPCVD单晶金刚石生长技术研究

来源 :中国电子材料行业协会半导体材料分会第四届蓝宝石、新型化合物半导体材料和人工晶体产业发展研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：flw00

【作 者】

：

郝建民 陈建丽 

【机 构】

：

中国电子科技集团公司第四十六研究所

【出 处】

：

中国电子材料行业协会半导体材料分会第四届蓝宝石、新型化合物半导体材料和人工晶体产业发展研讨会

【发表日期】

：

2015年7期

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