Al2O3薄膜相关论文
随着我国航空航天事业的蓬勃发展,对飞行器的发动机等关键部位的实时温度监测需求越来越多。声表面波传感器(SAW)具有结构小、性能优......
在2A12铝合金表面利用微弧氧化技术制备Al2O3薄膜及采用射频磁控溅射技术在氧化铝陶瓷膜表面沉积CrN薄膜。用X射线衍射仪分析了薄......
原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)是基于自限制界面反应的薄膜生长技术.采用原子层技术可以制备结构致密、高保形、低缺陷......
钒的氧化物具有对温度敏感的半导体-金属可逆相变特性.在多种钒氧化合物中,VO2的相变温度点约为68℃,适用于很多应用领域.VO2长期......
采用原子层淀积制备了以Al2O3/Ni纳米晶/Al2O3叠层结构为栅介质层的非晶铟镓锌氧(a-IGZO)沟道的薄膜晶体管(TFT)存储器.原子层淀积......
利用原子层沉积(ALD)技术在37CrMnMo钢表面沉积Al2O3超薄膜,通过极化曲线、电化学阻抗谱以及形貌表征,分析了薄膜的致密性以及薄膜......
在太阳能光热发电系统中,太阳能选择性吸收薄膜主要沉积于其关键部件——聚光集热器表面实现光/热转化,因而不仅需具有高的光热转......
在Si-Al2O3复合薄膜中观察到室温铁磁性.Si的体积百分比为15%的Si-Al2O3复合薄膜的磁性最强.Si的含量影响样品的磁有序,在样品中观......
通过射频反应溅射的方法制备Al2O3薄膜,并研究其中AL和O的化学配比,并取得初步结果。实验以高纯Al作为靶材,高纯度O2为反应气体,在......
用SEM、EDS及XRD研究了Al2O3或TiO2修饰对Fe-Cr-Al合金纤维载体表面形成致密α-Al2O3膜的影响因素,并分析了致密α-Al2O3膜的形成......
本文采用溶胶凝胶法成功制备了HfO2-ZITO TFT和Al2O3-ZITO TFT.同时对HfO2和Al2O3薄膜的基本特性包括表面性能,结晶性能,介电常数......
采用快速凝固的方法对Al-P中间合金进行了研究。研究发现,快速凝固Al-P中间合金中P元素以固溶态和AlP晶体形式存在,且熔体喷射......
FeCrAl金属纤维载体制作的尾气净化器具有起燃温度低、净化效率高、处理能力大、耐高温、抗振性强和寿命长等优点,是一种非常理......
本文使用东方盖德公司生产的缠绕式直流磁控溅射设备进行了磁控溅射薄膜沉积的研究,探讨了负偏压对基体温度和薄膜表面形貌的影响,分......
Al2O3薄膜具有许多优良特性,如宽禁带、高介电常数、高硬度、耐磨性好等,集光、电、机械性能于一体,具有非常广阔的应用前景,广泛......
在沉积不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳吸收集热管的磁控溅射三靶镀膜机上,安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,实现反应溅射Al2O......
概述了Al_2O_3薄膜的组织结构和性能特性;系统叙述了Al_2O_3薄膜的多种制备方法,包括真空蒸发法、直流反应磁控溅射法、射频磁控溅......
Al2O3薄膜有着极其优良的光学、物理化学等性质,极大地引起了科研人员的研究兴趣.本文简述了Al2O3薄膜性能、应用领域以及制备方法......
稀土三基色紧凑型荧光灯即节能灯,与白炽灯相比具有高光效、低能耗、长寿命等优点,但它同时也存在一个未被重视的问题——紫外线辐......
采用反应射频磁控溅射技术,通过调整溅射靶面上金属Er和Yb的面积比例制备出了不同Yb含量的Er/Yb共掺Al2O3薄膜,重点探讨了薄膜制备......
以仲丁醇铝(ATSB)为前驱物、氮气为载气,用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40钢表面沉积了Al2O3薄膜.采用光学金相显微镜(OM)、......
期刊
利用原子层沉积法(ALD)在硫钝化后的n型InP表面沉积Al2 O3薄膜进行二次钝化处理.通过光致发光(PL)测试和原子力显微镜(AFM)测试对......
通过对不同退火条件下ErYb共掺Al2O3薄膜光致荧光(PL)光谱的系统分析,研究了高ErYb掺杂浓度所导致的晶体场变化对薄膜PL光谱的影响......
以纯铝为靶材,在不同氩氧比例下,采用直流反应磁控溅射方法制备Al2O3薄膜。利用X射线衍射(XRD)、能谱(EDS)、扫描电镜(SEM)和精密阻抗分析......
为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折......
采用中频反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Al2O3薄膜,提出了一种利用透射光谱来简单有效地分析弱吸收薄膜的光学特性及与光学相......
对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算......
针对氮化铝异质薄膜的制备,构建了两种AlN/Al 2 O 3(0001)材料生长模型,采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法,对α-Al 2 O 3(0001)......
以纯铝为靶材,在不同溅射气压下采用直流磁控反应溅射方法制备了Al2O3薄膜.用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、台阶仪、......
研究了以异丙醇为主要原料,异丙醇为溶剂,添加乙酸乙酯作为螯合剂,利用溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂厚约0.5μm的Al2O3多晶膜。用XRD,IR,S......
以异丙醇铝为原料,采用溶胶凝胶法和浸渍提拉技术在玻璃载片上进行涂膜并考察了溶剂中乙醇含量对Al2O3膜结构及性能的影响。结果表......
通过采用溶胶-凝胶法在硼酸铝晶须表面制备Al2O3薄膜来改变硼酸铝晶须的表面化学性质,系统研究了Al2O3溶胶达到稳定的适宜工艺条件......
铝及铝合金具有良好的耐蚀性、较高的比强度、易加工成形、无磁性、无低温转变、导电及导热性好等众多优点,在航空、航天、汽车、机......
作为民用第三代新光源的紧凑型荧光灯,即节能灯,是照明光源的发展方向之一.但由于其发光原理导致的较强紫外线辐射却一直是一个危......
Al2O3薄膜的应用近年受到很大的关注,它在过滤和分离等领域内具有极大的应用前景,但就其本身而言,仍存在一些不足之处。本文用Sol-Gel......
采用射频磁控溅射法在40Cr基体上制备了非晶态Al2O3薄膜,并研究了工艺参数(溅射功率,工作气压,溅射时间)、预处理工艺以及中间层对薄......
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传......
以无机盐Al(NO3)3·9H2O为先驱体、水为溶剂,加入不同浓度的胶溶剂HNO3,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备了勃姆石(γ-AlOOH)溶胶。分别以......
以Al(CH3)3和H2O为反应源,在270℃下用原子层淀积(ALD)技术在Si衬底上生长了Al2O3薄膜.采用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显......
采用溶胶-凝胶法,以异丙醇铝为前驱体,引入二甲基二乙氧基硅烷(DDS)制备疏水性Al2O3薄膜,并研究了DDS的加入量对薄膜结构及性能的影......
为了研究衬底温度对Al2O3薄膜表面形貌和绝缘性的影响,用奥氏体不锈钢作衬底,在不同温度下用直流反应磁空溅射法直接衬底Al2O3薄膜......
采用直流磁控溅射镀膜技术以高纯铝为靶材,氧气为反应气体,在304不锈钢基底上以不同溅射功率(60,90,120,150和180 W)沉积Al2O3薄膜......