离子蚀刻相关论文
测定了一组乙烯基聚合物抗蚀剂和光致抗蚀剂的等离子体和活性离子蚀刻速率,以及离子铣蚀刻速率;并发现在合成中改变乙烯侧基取代基......
电子显微镜的发展对研究高聚物材料的形态结构提供了一种有力而方便的手段。为了提高图象观察的质量和真实反映材料结构的细节必须......
Kevlar纤维是近年来所开发的合成纤维中性能最为优异的一种有机合成纤维,它具有超高的模量和强度。纤维的性能往往是由成纤过程中......
Kevlar纤维是近年来发展起来的合成纤维中性能最为优异的一种有机合成纤维,它具有超高的模量和强度。纤维的性能往往是由在成纤过......
Cree研究公司演示了一台在常温下运行的蓝色半导体二极管脉冲激光器，将其应用于商业设备上将会极大提高光存储容量．该公司生产的403u......
掺半导体玻璃波导光栅耦合高速全光开关＊马少杰郑杰王淑梅（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）（中国科学院激发态物理开放研究实验室，长春１３００２１）关......
日本电信电话公司(NTT),研制出具有宽为0.4mm,长约10mm,深为0.1mm加压槽的微泵。在槽中以梳式并列18对直径为0.015mm,高为0.1mm的......
介绍了计量光栅的测试与研究。这些光栅有刻划-腐蚀、照相-照相-镀铬、刻划-镀铬、照相-离子蚀刻。进行了光栅透射函数、±1级光强......
集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征＊李燕徐迈（中国科学院激发态物理开放研究实验室，长春１３００２１）（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）张玉书（集成......
据《CompoundSemiconductor》2006年第3期报道,在欧洲航天局的资助下,IMEC公司采用MOCVD在蓝宝石上生长了AlGaN/GaNHEMT。在工艺阶......
本文利用扫描电镜和离子蚀刻技术研究了PBT熔融结晶的形态结构。结果表明,PBT根据其结晶条件的不同可产生非常结晶、正球晶、螺旋......
SBC-1型试样表面处理机是新研制的适用于扫描电镜、电子探针和透射电镜等试样制备的多用途机器,它兼有真空蒸发台和离子溅射、蚀......
设计并制作了一种基于激光直写工艺的多模高聚物1×8光功率分配器。该器件采用了独特的次级非对称结构实现了光功率在各个输出......
深入理解催化剂载体和催化剂颗粒的相关作用,其中重要一点是实现催化剂载体表面微观结构的调控.我们采用氧化物单晶作为催化剂载体......
在离子蚀刻预处理及磁控溅射镀过渡镍层之后,在TC4钛合金上制备了结合力良好的镍−碳化硅复合镀层。扫描电镜表征及摩擦磨损测试的......
每小时振动36,000次;每天864,000次;每年315,360,000次……这就是El Primero的频率。一种常规机芯很难保证万无一失的精准的频率,......
一、前言全息光栅有很多优点,诸如:(1)由于线槽间隔的精度极高,故不会出现鬼线,而且杂光也少;(2)可以比较容易地做出很细的线槽间......
美国弗吉尼亚大学的研究小组改革了一项技术,首次阐明了人2型腺病毒清晰的内部结构。此病毒是引起感冒的多种病毒之一。Jay Brown......
本文采用离子蚀刻技术,对扫描电镜的样品载片进行亲水化处理。经上述处理后的载片,可以均匀地吸附各种游离细胞,避免了样品重叠现......
高分辨超导结构可用于探测晶界性质,面邻近效应的形成和减小超导量子干涉仪的噪声。几种应用中,制成的结构模型必须保持原始薄膜......
本文以截形叶螨为实验样品，经离子蚀刻后在扫描电镜下观察，清晰地显示了螨足、螨体解剖后的显微结构。足内各节的肌束等组织及螨体内......
本文在简要回顾磁盘浮动技术的发展历史后着重介绍了目前正在发展的负压浮动技术。即采用NPS(Negative Pressure Slider)浮动块。 ......
具有光学、电学器件和注入式激光器的单片集成一直是制造光电集成电路的一个有吸引力的目标。对于集成激光器。关键因素之一是:不......
为寻找宇宙线中的长寿命重电离粒子,1981年我们用醋酸纤维素(CA,140μm厚)和Makrofol-E(西德产,300μm厚)组装成探测器(4.05m~2),......
刚挠板化学沉铜前处理是生产刚挠板过程中一大难点.本文回顾了我司开发刚挠板过程中,沉铜前处理,由完全按照刚性板的生产工艺到摸......
本文简述了光波导层的制作方法应该遵循的原则,介绍了光电印制板中的主要的聚合物光波导材料的成型工艺,包括反应离子蚀刻、平版影......
本文应用有限元分析软件ANSYS9.0模拟了多磁极约束磁增强型反应离子蚀刻装置内部的磁场分布.模拟结果表明,通过磁极的配置及磁化方......
本文介绍了一种MEMS角速率传感器的设计、制作和测试.该传感器采用硅梁作为支撑和震动的结构.电磁力在驱动模式中被用来激励质量块......
许多大功率激光系统，需要顶平，边陡，旁瓣小和光效率高的均匀焦斑。用衍射光学元件(DOE)实现这样的均匀照明有许多优点，例如纯相位调制......
