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为改进微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置中的加热系统,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解;通过对基片加热材料的微波设计,在MPCVD装置中获得大于基片台直径的均匀温度分布区.
MPCVD中基片加热材料的温度场摄动模型研究
【摘 要】
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为改进微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置中的加热系统,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解;
【机 构】
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解放军理工大学工程兵工程学院电磁脉冲室,空军雷达学院,解放军理工大学工程兵工程学院电磁脉冲室
【出 处】
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电波科学学报
【发表日期】
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2002年5期
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