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为改进微波等离子体化学气相沉积 （MPCVD）装置中的加热系统 ,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线 ;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解 ;通过对基片加热材料的微波设计 ,在MPCVD装置中获得大于基片台直径的均匀温度分布区。
MPCVD中基片加热材料的温度场摄动模型研究
【摘 要】
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为改进微波等离子体化学气相沉积 （MPCVD）装置中的加热系统 ,提出了用基片加热材料替代常规加热方式的新的技术路线 ;建立了基片加热材料的微波轴对称温度场模型并得到了一般解 ;通过对基片加热材料的微波设计 ,在MPCVD装置中获得大于基片台直径的均匀温度分布区。
【机 构】
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电波科学学报
【出 处】
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电波科学学报
【发表日期】
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2002年05期
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