中空阴极离子镀仿金膜色调研究

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为了获得中空阴极离子镀氮化钛膜,色调力求达到仿金的结果,对之进行了分析及讨论,本文阐明通过控制蒸镀过程中合适的钛蒸发量及氮流量的比值,或在纯钛靶材中加入适量锆元素是使氮化钛膜色调最接近黄金色调行之有效的措施。文章还详细介绍了膜层色调分析的依据,认为对氮化钛色调进行光谱反射率测定并在CIE 1931彩色色度图〈国际照明委员会标准色度系统色调图〉上进行色调标定是对氮化钛膜色调的鉴定既科学又直观的方法。 In order to obtain the hollow cathode ion-plating titanium nitride film, the color tone to achieve the results of imitation gold, which were analyzed and discussed, this article illustrates that by controlling the evaporation process in the appropriate titanium evaporation and nitrogen flow ratio, or in pure titanium The target amount of zirconium is added to the titanium nitride film hue closest to the gold color line effective measures. The article also details the basis for the analysis of the hue of the film. It is considered that the spectral reflectance of the titanium nitride hue is measured and the hue calibration is performed on the CIE 1931 chromaticity diagram Titanium film color identification of both scientific and intuitive method.
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