微机械加工技术相关论文
本文主要针对体微加工过程中微电子机械系统以及微机械加工技术中的硅微机械加工技术的联合运用进行研究,结合微电子机械系统技术的......
设计并制造了一种八固支梁结构的压阻式三轴加速度传感器.文中针对该结构的机械性能分析,建立了一个简化的数学模型,并采用有限元......
对基于微机械加工的PCR(聚合酶链式反应)芯片技术进行了综述.PCR可对特定DNA序列进行大规模的体外扩增,是基因分析的重要技术手段.......
阐述了MEMS系统的几种重要的微机械加工技术,体硅微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术、微机械封装技术,并分析了它们的......
一:微电子技术专业半导体器件与微电子专拉是在1970年建立起来的。80年初被评为省重点学科。1983年开始招收硕士研究生,1985年获得硕......
针对微型双岛硅膜制作中的凸角削角腐蚀问题,提出了一种新的削角补偿方法一“两端矩形补偿法”,并在感压膜尺寸仅为0.72mm×1mm的双岛硅膜制作......
简要介绍了多芯片组件(MCM)技术的由来、分类、结构、性能及应用.
This paper briefly introduces the origin, classification, str......
介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性,最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。
The basic characteristics and selectiv......
本文对G.K.Mayer等人提出的,用(100)条对(100)Si凸角补偿的方法进行了深入研究,指出了该方法在腐蚀槽较窄时的局限性,在此基础上提出了一种改进的新方法,并给......
带尾纤的全光型硅微谐振器引入了集成光学技术,具有独立的拾振光路和简单易行的拾振方式,可以完全脱离光学平台运作.对带尾纤的全光型......
介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果。该系统为三片式结构,其中两片由......
针对在M EMS加工中所要求的低温键合,提出了一种用氧等离子体激活处理来降低退火温度的低温硅片直接键合技术。研究了低温SDB的特性并得出......
题目 作者 期 (页 )电子束技术正交图形簇畸变的校正研究及计......
题 目 作者 期 (页 )电子束技术电子束曝光的MonteCarlo模拟任黎明 陈宝钦 1 (1)………………………………………......
微电机形成专业化的生产体系,在世界上大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着......
分析了现有的AFM力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用KOH溶液两步法P+自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁;以SiO2为掩模,SF6刻蚀硅,用......
本文介绍一种新型集成压力传感器.它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合,将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起,制作......
对微泵膜片在静电力驱动下产生的形变和由此引起的微泵腔体体积的变化进行了计算机模拟分析,得出了膜片厚度、形状和静电驱动电压对......
表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计 ,包括设计......
ADXL210E是带数字输出的低成本、低功率、两坐标轴加速度计电路,测量加速度满标度范围为±10g。本文介绍该电路的特点、工作原理及......
微结构型电化学传感器是应用发展中的微机械加工技术结合传统的电化学传感技术创立的新一代的电化学传感器,而微机械加工技术与多种......
介绍了半导体加工技术、LIGA工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用,必将......
超高速平板通道毛细管电泳是90年代发展的一种秒级分离的新颖技术。应用现代微电子光刻技术将化学反应、进样、分离和检测等组合在数......
将微机械加工技术应用于传感器研究 ,制备一体化薄膜生物传感器。本项研究实现在微电极表面进行黄嘌呤氧化酶的固定化 ,从而制备一......
据报道,2000年汽车传感器的市场为61.7亿美元,预计2005年将达到84.5亿美元,增长率为6.5%。汽车传感器在汽车上主要应用于发动机控......
本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件,可用于测量流速、流向、温度,光学量等等,其工艺简单,性能优良,兼容性强,设......
本文把硅传感器的发展趋势归纳为三个发展方向:集成化、多功能化和多维化。提出了集成化的三种发展模式:高集成度、中等集成度和低......
我们发现在标准CMOS工艺中有许多工艺可应用到微机械结构的制造中去.仅仅增加一步无需掩膜的KOH腐蚀工艺,用工业化3微米CMOS工艺(......
20世纪提出的自由流电泳不仅可应用于有机生物分析,也可应用于无机化合物分析。它的连续样品制备、分析条件温和等优点使其在在线......
利用微机械加工技术,在ITO玻璃上设计制作了基于介质上电润湿效应的以离散液滴为对象的免疫检测芯片,对芯片的液滴驱动特性、免疫......
基于微机械电子系统(MEMS)技术和硅材料的压阻效应,研制了一种具有对称梁膜结构的硅微加速度传感器.结合四甲基氢氧化铵(TMAH)各向......
未来的无线通信系统将具备各种新功能并高度微型化。而且,3代和4代多模/多波段无线终端设备将为新业务、互联网与Mcommerce(移动电......
本文根据气体动力学,利用在一定范围内气体导热与气压大小成比例的关系,采用表面微机械加工技术和CMOS工艺研制了一种微桥热传......
一、概 述 一九八九年六月廿六日至卅日,在瑞士蒙特洛举行了第五届国际固态传感器与执行器会议(简称Transducers'89)。由于国际上......
本文着重阐述用微机械加工技术制造的用于汽车发动机控制系统的压力、位置和气体传感器的最新进展。
This article highlights th......
介绍一种能同时测量物理量和化学量的多功能传感器集成片.该多功能片的尺寸为8×9mm,它包括用于信号调节、阵列存取和输出缓冲的一......
本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传......
在九十年代第一年,“八·五”计划第一春到来之际,为了进一步认清形势,明确方向,加快前进步伐、特邀请部分有关领导与专家举办了这......
用于侵入性及非侵入性患者监视的固态集成传感器已逐渐可行并令人瞩目,因为这种传感器尺寸缩小,更可靠并结合了单片信号处理.对于......
为了解国外传感器发展水平、产品情况、新技术、新装备及国外公司与我国进行技术合作的可能性,寻找合作伙伴,提高我国传感器科技攻......